测量参数

Ra 、 Rp 、 Rv 、 Rt 、 Rz 、 Rq 、 Rsk 、 Rku 、 Rc 、 RPc 、 RSm 、 Rmr （ c ）、 tp 、 Rmr 、 Rpm 、

Rz1max 、 RzJIS 、 Rmax 、 Htp 、 R δ c 、 R △ q 、 R △ a 、 Rk 、 Rpk 、 Rvk 、 Mr1 、 Mr2 、 A1 、 A2

Pa 、 Pp 、 Pv 、 Pt 、 Pz 、 Pq 、 Psk 、 Pku 、 Pc 、 PSm 、 Pmr （ c ）、 Pmr 、 Pz1max 、 PzJIS 、

P δ c 、 P △ q

传

感

器

检测原理

电感式

测量范围

400μm

针尖半径

5μm

针尖材料

金刚石

触针测力

4mN

触针角度

90°

导头纵向半径

45mm

*大驱动行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

± 25μm

0.001μm

± 200μm

0.008μm

波方式

2RC 、 GAUSS

取样长度

0.08mm ， 0.25mm ， 0.8mm ， 2.5mm

评定长度

1L ~ 5L （可选， L 为取样长度）

示值误差

± 10%

示值重复性

≤ 6%

工作环境

温度： 0 ℃ ~ 40 ℃

湿度：＜ 90% RH

外形尺寸及重量

主机： 155.4mm × 75mm × 53mm ，约 580g

驱动器：Ф 26mm × 132.5mm ，约 179g

电源

内置电池：锂离子充电电池

电源适配器：输入： 100V ~ 240VAC ， 50/60Hz

输出： 9V ， 3A

标准配置

主机、传感器、驱动器、充电器、样块、前后护套、探杆（ 4 根）